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ビューポートシャッター

 
 
   
   
●マグネットカップリング式シャッター駆動

●スライド式シャッター(シャッター駆動空間不要)
●取付方向自在
●ベークアウト<300℃(マグネット脱時)

●低コスト 

 
 
 
 
   
   

真空装置内部の観察、或いは光学計測ポートとしての機能は汚染や錯乱により、時として遮蔽や保護(防着)を必要とします。一方、妨着シャッターの機能は妨着シール性能が良い製品ほど排気コンダクタンスの妨げとなり、光学遮蔽には視野を妨げる要因を残すなど、多くの悩ましい問題があります。

 

スライドシャッター方式は構造的にゲート式バルブに類似し、フラッパー式シャッターと比較した場合、理想的な遮蔽状態と開放時の良好な視野が得られます。 また、シャッター板の駆動空間(フラップ開放時の空間)が不要で、取付面間寸法も最小の空間を実現できます。

 

スライスシャッターはシャッター板の駆動空間を必要としない為、既設装置のビューポートと装置側取付ポートの間に装着することが可能です。シャッター増設に伴うデッドボリュームの発生も最小限に留めることが可能です。シャッター駆動は手動モデルに限定されますが、シャッター面への光学フィルター取付や荷電粒子の検出板としての応用など、個々のアプリケーションに応じた特殊仕様品のご対応は可能です。

 

コンフラットフランジ仕様以外の製品(ISOフランジ)もご対応致します。(詳しくは弊社までご一報ください。)