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テクニカルデータ |
UHVサンプルヒーターの主要構成要素でありますヒーターエレメントは、熱的、電気化学的に安定な高純度の絶縁体です Pyrolitic Boron Nitride（熱分解窒化硼素）を基材に、 Pyrolytic Graphite（熱分解黒鉛）を発熱抵抗体とした要素から構成されるヒーターエレメントです。
ヒーターエレメントの生成は全て気相成長（熱CVD）プロセス中で行われます。
機械的強度にも優れたBNとPGの複合体でありますこの製品は、高い熱伝導性と異方性により優れた均熱性能も有する複合体です。 |
以下はPBNに関する代表的性値です。（測定は室温）
見掛け比重（g/c㎥）=1.95～2.22
引張強度（Mpa）=40
曲げ強度（Mpa）=80
熱伝導（W/m℃）=c方向2（ab方向60）
熱膨張率（mm/mm/℃）=ab方向2x10-6
電気抵抗（Ω・cm）10E15
絶縁破壊強度=2x10E5（DCV/mm）
誘電率=ab方向5.2
金属不純物=<10ppm |
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