イオン源 - アドキャップバキュームテクノロジー株式会社は真空応用機器製作の専門メーカーです。
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製品一覧

 

ECR Plasma Source

低圧動作が可能なECRプラズマイオン源 

 

Atom Source 

アトムフラックス生成源、リアクティブガスの使用も可能

 

Hybrid Source

イオンビームとラジカル混成ビームのモードを切り換え可能

 

Ion Etch

最大5KeVの加速電圧

小型のECRイオン源

CF70マウント