小型マルチ蒸着装置

ミニチュアエバポレータ（E-GUN)を多元装着したマニュアル操作の蒸着装置です。

イオンスパッタクリーニング、RHEED等の機能を拡張してセミカスタムの構成が可能です。 

よりアドバンスなフルカスタムメイドから初歩的な装置構成まで、様々なご相談に応じた対応を致します。