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コンポーネント製品

Bakeout Tent & Heater Fan

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Introduction
 真空中の内装部品や真空チャンバーの壁からのガス放出の問題は、排気ポンプの能力とは異なる問題として、その低減と排出に工夫をしなければUHV環境は得られない事実が周知です。また、残留気体成分のプロセスに及ぼす影響を払拭する為にも分圧成分に関する認識が重視されます。システム排気時間の短縮も重要な課題です。

 これら残留気体の成分は水素、酸素、窒素及び一酸化炭素・二酸化炭素などの大気中のガス成分が主で、多くは水蒸気であることが知られています。
 これらガス放出の問題に対する対策は、様々な手法が提案されており、ベークアウトもそのひとつの手段として今日定着しています。

Bakeout Tent

特殊繊維と断熱素材で作られたベークアウトテントです。
被排気系をテントで覆い、温風還流型ヒーターでベークする手法は
被排気系を均熱加熱する為、良好なベーク状態が得られます。
テント装着面には手軽に着脱できる耐熱性ベルクロ(右写真)を使用、
使用後は展開してコンパクトなサイズで収納できます。
テント素材は軽量で運搬も容易です。

テント外装素材と耐熱性
シリコン繊維:250℃
テフロン繊維:260℃
グラスファイバー:500℃

グラスファイバーとシリコンコート繊維で作られた
スタンダード断熱素材の構成では250℃耐熱(表面温度)
断熱性能(概略値): 0.055W/mK@200℃
0.075W/mK@300℃

外部への流熱量は素材面積、接合箇所、逃げ穴の有無、テント設置面の状態などの要素で変化します。テントは装置の設置状態に応じたテーラーメイドが可能です。


 
製品は労働衛生法令に基つき使用者の健康への影響が懸念される物質は使用しておりません。また、難燃性材料については防火基準に適合する素材を選択して使用しております。

Bakeout Heater Fan

ベークアウトテントに併設する温風還流型のヒーターです。
テント内の空気を強制ファンで還流しながら加熱します。

出力:2.0Kw(MAX)
風量:200㎥/h
入力:AC200V 50/60Hz

50-250℃ダイヤル温度設定器(熱電対温度制御機能付)
自立型(非固定)ユニットとして収納時や、設置箇所を移動する
場合でも簡単に取り外しができます。

外観寸法図

 

Bakeout Jacket (self  heater)

ベーキングジャケットは断熱ジャケットにヒーターを内蔵した製品です。
排気ライン内部に反応残渣の生成を防ぐ目的で予熱します。

テフロン繊維:200℃
グラスファイバー:400℃
RAMP SPEED:RT-120℃@30min