Rotary Motions

●手動回転導入、高精度回転導入
デバイス
●ベローシール回転軸構造
●主要構造部SUS316L 、その他
　構造材質はオールメタル
●UHV対応 1×10E-10mbr/s以下(HE)

 

製品仕様
(Nm) 1Nm
常用最大回転数 200rpm
許容最大回転数 1000rpm
ベークアウト 200℃
ポジションロック ハンドノブ
回転角最少分解能 0.5°
回転角表示 360°/2.5°
シャフト部仕様 5.8mm(軸端M4タップ)
マウントフランジ CF34/70
主要構造材質 SUS316L
自重 0.8kg
 
(2007年4月現在)
ORDER INFOMATION'S
フランジ 自重 型式
CF34 0.8kg PRM-C16
CF70 1.2kg PRM-C70