Compact Z-Axis Linear Motion (LTシリーズ）

  

●ストローク = 20mm,40mm,80mm
　ポジションスケールゲージ付

●スラストスクリュー駆動（ポジション自己保持可能）

●有効ボア径 = CF70=38㎜
●溶接ベローズシール構造
　UHV対応　10E -11Torr)
●フランジ、ベローズ材質 = SUS316L
　その他構造材質もオールメタル

 

 

 

 

 
 
   

スラストスクリュー構造のZ駆動ステージです。

CF70フランジマウント、有効内径38㎜のフルボアサイズの製品です。装置取付ポートの仕様に制限の無いスルーホールフランジを採用、ハンドホイールポジションも実用経験を生かして考案しました。駆動距離の短い製品に特化したモデルです。

 
   

These linear Transfer mechanisms are designed to produce smoooth and controlled liner movement. The 38mm inside hole allows to mount many services as sample holder,furnace or feedthroughs.

 
   
 
製品仕様
マウントフランジ CF70
面間平行度 within 0.1㎜/cm
許容垂直重量 250N
許容横荷重 10N
ポジション分解能 1ターン/1mm
最少ポジション分解能 0.02mm
取付方向 自在°
ベークアウト 250°C
主要構造材質 SUS316
 
   
 
(2010年5月現在)  
ORDER INFOMATION'S
型　式 マウントフランジ ストローク 型　式
LT-20 CF70 20mm LT20

LT-40

CF70 40mm LT40
LT-80 CF70 80mm LT80
 
 

大口径 Z-Axis Linear Motion

  
 

LTシリーズ（大口径モデル）

 

フランジサイズ、ストローク等指定製作も可能です。