セルのハーネス構造部はルツボ本体の他、ヒーターエレメント及び、遮熱シールドまでカートリッジ構造による着脱が可能な構造です。ルツボはPBN（熱分解窒化ホウ素）で絶縁されたタンタル箔ヒーターによって加熱される構造です。熱電対を内蔵したルツボ構造はハーネス内部の精密な温度検出を可能にし、ルツボの温度制御性を最適に保ちます。この最適化された温度制御デザインがこの製品の幅広い温度域での高い安定性を実現し、低融点材料から高融点材料まで幅広いレンジで安定した蒸発制御性を実現します。特に高純度フラックスを追求するアプリケーションではPBNハースライナーを併用できます。
独自のカートリッジ構造はPBNライナーとセルをユニットをして交換することで容易に蒸着材料の変更も可能です。
デジタル専用制御電源（250-PTC)を使用することでセルのヒーター温度を精密に制御することが可能です。セルの熱電対フィードバック信号とデジタル温度設定機に入力された任意の設定温度を追従するPIDコントローラによりヒーター出力制御を行い精密な温度制御と安定化を実現します。
多元蒸着、多元同時蒸着のアプリケーションにはクラスターマウントアダプターが利用できます。（写真）
CF152（DN100CF)フランジで最大3元のセルマウントが可能です。（その他、シュラウド装備の仕様にも対応可能です。）
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