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蒸発源

E-Beam Evaporator

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マルチポケット ミニチュアエバポレータ    
  ●多元同時蒸着( 4元素装填)、または多元装填

●材料に対応したRod&Crucible両装填が可能 

●CF70フランジマウントのコンパクトな本体 

●4元独立制御、豊富なコントロールオプション

●UHV対応、Cross Contaminationを最小限に抑える4元独立冷却構造を採用
 

e-flux4マルチポケットミニチュアエバポレータはe-fluxシリーズ共通の静電場収束型電子衝撃加熱蒸発源です。

1台の蒸発源に4元素を同時装填、各元素の独立蒸発制御、同時蒸発が可能な製品です。

UHV環境下での多層膜蒸着アプリケーションに対応したマルチポケット(4元)の製品です。4元装填ながらコンパクトな本体はCF70(DN35CF)フランジからマウント可能です。電子衝撃加熱ならではの広範囲、高融点(400K~3100K)の各種材料の蒸着に対応可能です。また、ロット状材料とパウダー、フレーク、チャンク状、何れの材料にも対応可能な製品です。Sub-MonolayerからMulti-Nanometerレンジの薄膜アプリケーションに対応した優れた低蒸発レート特性と各種の蒸発制御オプションが選択可能です。 e-flux4マルチルチポケットミニチュアエバポレータは各種の多層膜生成アプリケーションに対応した自在な蒸発材料を利用できます。各種の材料形状に対応したRod&Crucible両用の仕様に加え、蒸発温度、蒸発条件の異なる各元素の独立制御、同時蒸着を可能にします。蒸発源本体はUHV環境下での薄膜生成過程に配慮した水冷シールド構造を採用、4元素独立シールド冷却の構造です。プロセス上重要なCross Contaminationの発生を極限的に抑える構造に配慮しました。フラックスシャッター、4元素独立のフラックスモニター、Crucible温度制御の熱電対等、多彩な蒸発制御、プロセスコントロールオプションがあります。

(詳細は弊社までお問い合せ下さい。)

 
 
Key Fuatures&Basic Comprises
  • ・ ハイパワー(最大600W)の専用制御電源
    ・ エミッション値をダイレクトに設定した運転モードが可能
    ・ ロットフィードのタイミングをサポートするLED表示ガイド機能
    ・ ロット材料直接加熱とCrucibleを選択可能
    ・ 各種のロット線径に対応可能(φ2㎜〜6㎜)
    ・ Full UHV 対応、ベークアウト
    ・ 蒸発源ヒートラジエーションシールド+水冷機構
    ・ シンプルなベーシック構成と豊富なオプション
    ・ 広範囲な蒸発材料に対応可能
    ・ 25㎜ロットフィード (50mm オプション)
    ・ フィラメントはセルフメンテナンス
    ・ 専用制御電源(0-300W)
    ・ 0-10V 外部制御端子
 
     
 
 
 
Specifications    
e-beam Power: 0−300W (スタンダード)
ロット蒸発:  W, Ta, Mo, C, Pt, Cr, Ti, Fe etc.
Suitable for refractory metals and other materials which reach high partial pressures e.g. 10-1 Torr before melting.
Crucible 蒸発: Ag, Au, Al, Ni etc.
Crucible operation is for insulators or other poor electrical conductors and low vapour pressure materials such as gold and aluminium which melt before reaching useful vapour pressures.
蒸着レート: >0.01A/sec (Fine Control) >1 nm/sec (Refractory materials at 10cm)
>15−20 nm/min for higher vapour pressure materials.
適合ロット径:φ2㎜ (MAXφ6㎜までオプション対応可能)
Crucibles: Ta, Mo, W, Graphite: Up to 0.25cc standard (others optional)
ロットフィードLinear Drive: 25mm (50㎜ オプション)
ソースマウントフランジ: CF70 (DN35CF) Flange
In vacuum length:190mm (スタンダード) Maximum in-vacuum diameter:34mm
制御電源入力電圧: AC100V(±10%) (50/60Hz)
 
 
Options    
【ソースユニットオプション】
・フラックスモニター
・TCリードアウト端子
・フラックスシャッター(手動、自動)
・50㎜ロットフィード
・Crucible (0.25cc)
【制御オプション】
・フラックスモニター、デポジションコントローラ
・蒸発源温度制御/PIDループ制御(Crucibleオプション専用 )
・水晶発振式膜圧モニター(制御オプション)
 
     
ご注意:カタログに記載の内容は予告なく変更される場合があります。(Vol:2006-04)