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イオン源  
 
 

（Atom/Ion)Hybrid Source

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Atom,Atom/Ion Hybrid Sourceは2つの運転モードを切替えて使用可能なユニークなSourceです。シリーズ共通のECR（Electron Cyclotoron Resonance)プラズマにより効率よく生成されるAtom種、或いはイオン種をプラズマ中からターゲットに照射します。

フィラメントレス構造の為O２、H2等のリアクティブガスのイオン化も可能です。プラズマ生成部は高純度の絶縁材料で構成され、その他の構成材料も全てＵＨＶプロセスでの使用に耐える構造です。ＣＦ114（ＤＮ63ＣＦ）フランジマウントによるコンパクトな本体は外部からの導波管接続を必要としません。また、ユーザーによる面倒なチューニング作業も不要です。（詳細は弊社までお問い合せ下さい。）

 
 
 
 
Applications
 
  • ●Ion Beam Assisted Deposition(IBAD)

●Cleaning/Surface Proparation in Suaface Science.MBE and HV sputter processes.

  • ●Chemical Assisted Ion Beam Etching (CAIBE)
　
Key Fuatures＆Basic Comprises
  • ●  フィラメントレス
  • ECR方式のイオン源です。リアクティブガス（O2、H2等）のイオン化が可能です。
  • ●  コンパクト、省スペース構造
  •  導波管の接続を必要としないので設置スペースを制限しません。
  • ● チューニング不要（Factory Set）
  • ユーザーによる面倒なチューニング作業は殆ど不要です。
  • ●  ビーム径はアパーチャ交換により選択可能
  • ●  ビューポート
  • リゾネータ内部を視認できるビューポートを装備しています。
  • ● 電流導入端子はホットゾーンから隔離された位置に配置
  • イオン源稼働中の信頼性が向上しました。
  • ● Full UHV対応
  • UHV環境下で使用可能な材質で構成されています。
  • ● オールメタル水冷構造　ベークアウト >200oC       
  • マグネトロン、マグネット等はインストール状態のまま、本体から着脱可能です。
 
　
 Specifications  
 
Vacuum compatibility: Fully UHV compatible
Bakeable: >200oC
Microwave power: 250W max at 2.45GHz
Magnet type: Permanent rare-earth.  Removeable for bakeout without breaking vacuum
Mounting: CF114  (DN63CF)
In vacuum length: 300mm (custom lengths possible):  In vacuum max OD = 57mm
Flux: Atom or Atom/Ion particle
Ion energy: 25eV – 2000eV
Beam diameter: ~25mm at source (narrower beams also easily produced)
Extraction Grids: ask (depend on applications)
Gas flow rate: 0.01-100sccm typical　(depending on aperture,pumping capability of equipments)
Working pressure: 1x10-7 Torr to 5x10-3  Torr (Typical 500l/s pump)( Lower pressures possible – please contact tectra to discuss your application)
Working Distance: 50mm-300mm.  100mm typical
Cooling: Fully water-cooled (including magnetron).

PowerSupplies:

MicrowaveGrid supply		 19“ rack mount.  3U height.  100VAC, 50/60Hz 19“ rack mount.  3U height.  100VAC, 50/60Hz(* Microwave Gride SupplyユニットはHybride Sourceの場合も必要になります。)
 
　
Options    
【ユニットオプション】
・マスフローユニット
・差動排気ユニット
・ニュートライザー（絶縁体チャージUP防止）
・フォーカスグリッド他各種のグリッド仕様対応
【制御オプション】
・プラズマモニター
・パルスジェネレータ
    
     
ご注意：記載の内容は改良のため予告なく変更される場合があります。（Vol:2006-04）