|
Effusion Cellのハーネス構造はガス負荷中での材料蒸発を可能にする目的からグラファイトを発熱体とした特殊なヒーター構造を有します。発熱体はCrucibleと同じ高純度のPBNでラミネートされた構造を持ち、機械的強度と絶縁性を保ちます。
CF114フランジマウントのセル本体は水冷シールド構造です。超高真空域からのオペレーションも可能です。
フラックスはCrucible形状から指向性のあるガウス分布が得られることも期待できます。
Mn、Pｄ、Pt等の材料蒸着や低次元化膜生成、微粒子生成プロセスに応用可能なソースユニットです。
合金、昇華性物質、その他アプリケーションに応じた様々な対応もご相談下さい。シンプルでリースナブルな機器構成からアプリケーションに対応した豊富なオプション構成まで、ご要求に適う自在なユニット構成を実現致します。
（詳細は弊社までお問い合せ下さい。）
|
